Geçirimli elektron mikroskobu (TEM), çok küçük ölçekli nesnelerin ince detaylarını görmek için kullanılan güçlü bir mikroskop türüdür. TEM’nin ana parçaları şunlardır:

  1. Elektron Kaynağı: TEM’de elektronlar, genellikle termiyonik veya lazer ile uyarılmış katotik ışın tüplerinden gelir. Elektronlar genellikle ısıtılarak serbest bırakılır ve hızlandırıcı elektrotlar tarafından hızlandırılır.
  2. Elektron Hızlandırıcı: Elektronlar, mikroskopun içindeki yüksek gerilim alanlarına maruz bırakılarak hızlandırılır. Bu, elektron demetinin hızını artırarak daha yüksek çözünürlük elde etmeyi sağlar.
  3. Odaklama Sistemi: Elektron demetinin odaklanması ve yoğunlaştırılması için manyetik alanlar veya elektrostatik lensler kullanılır.
  4. Numune: İncelenen nesne, genellikle ince kesilmiş bir kesit halinde incelemek için hazırlanır. Numune, elektron demetinin geçmesine izin veren ince bir kesite sahip olmalıdır.
  5. Projeksiyon Lensleri: Elektron demetini numunedeki detayları daha net bir şekilde görmek için büyütmek ve odaklamak için kullanılır.
  6. Görüntü Yakalama Sistemi: Oluşan görüntüyü algılayan ve kaydeden bir sistemdir. Bu, genellikle bir elektronik sensör veya film olabilir.
  7. Veri İşleme ve Görüntüleme Yazılımı: Alınan görüntülerin işlenmesi, analizi ve görselleştirilmesi için kullanılan yazılım.

TEM’ler genellikle oldukça karmaşık sistemlerdir ve çok sayıda alt parçaya sahiptir. Bu temel parçalar, TEM’nin genel işleyişinin ana hatlarını temsil etmektedir, ancak her sistem biraz farklı olabilir ve ek parçalar içerebilir.